TOPOS Interferometrische Messsysteme für die berührungslose Ebenheitsprüfung von feinbearbeiteten Präzisionsteilen

TOPOS Interferometer arbeiten nach dem Prinzip des streifenden Lichteinfalls, so dass die Ebenheit auch rauerer Teile, die mit dem Planglas oder Fizeau-Interferometer kein Streifenbild mehr zeigen, gemessen werden können. Aus dem Interferenzstreifenbild wird von einem Rechner die Ebenheit eines Teils bestimmt. Neben geläppten oder feingeschliffenen Teilen sind auch polierte Teile messbar. Die Teile können aus verschiedensten Werkstoffen bestehen:

• Metall (Stahl, Aluminium, Bronze, Kupfer, etc.)
• Keramik (AL₂O₃, SiC, SiN, etc.)
• Kunststoff
• etc.

Die Interferometer können in der Fertigung in der Nähe der Bearbeitungsmaschine aufgestellt werden. Die Absolutgenauigkeit beträgt bis zu 0.1 µm über das gesamte Messfeld.

Innovativer Aufbau der Messgeräte

TOPOS Interferometer besitzen ein über dem Prüfling angeordnetes Prisma. Dadurch erfolgt die Messung berührungslos mit einem Luftspalt zwischen Prüfling und Prisma. Durch diesen Aufbau erzielt das TOPOS Ebenheitsmessgerät folgende Vorteile:

• durch die berührungslose Messung, ist ein maximaler Schutz des Prismas möglich, dadurch werden die Wartungskosten erheblich gesenkt
• Öl oder andere Schmiermittel können nicht auf das Prisma gelangen und/oder in das Ebenheitsmessgerät eindringen
• zusätzlich kann das TOPOS Ebenheitsmessgerät mit einer Kapselung ausgerüstet werden, womit das Gerät einen extra Schutz vor staubigen oder ölhaltigen Produktionsumgebungen erhält

Messung großer Ringe und Flächen

Durch die berührungslose Messung ist eine Erweiterung um einen Dreh- oder Kreuztisch zur Messung großer Teile möglich. (mehr)

Leichte Anpassung an Teile mit unterschiedlichen Eigenschaften

Am TOPOS Interferometer kann die Empfindlichkeit auf vier kalibrierte Werte eingestellt werden. Damit ist eine optimale Anpassung auf die Ebenheit und Rauheit des Prüflings möglich. Zusätzlich erlaubt das TOPOS 100 durch ein eingebautes Zoom Objektiv eine Messung mit hoher Messpunktezahl von auch kleinen Teilen.